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CNC精密零配件加工的特點
                       CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件加工方法的特點是對外表層物質(zhì)去除或添加的量能夠作極細(xì)微的控制。但是要獲得cnc超精密零件加工精度,仍有賴于精密的加工設(shè)備和準(zhǔn)確的克制系統(tǒng),并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版即使采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑(見光刻)舉行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,制成掩膜。電子束曝射制版必要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

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    超精密零配件加工,主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用通過精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右,常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡,高精度可達0.1微米,外表粗糙度為Rz0.05微米。

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      超精密零配件加工精度以納米,甚至后以原子單位(原子晶格距離為0.1~0.2納米)為目標(biāo)時,超精密零件切削加工方法已不能適應(yīng),必要借助特種精密零配件加工的方法,即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等,使這些能量超越原子間的聯(lián)合能,從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯(lián)合或晶格變形,以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。

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